紫外線（UV）照射による様々な物質の化学反応を利用して、様々な分野でUV照射技術を応用している。
その用途は硬化、乾燥、洗浄などの製造プロセス分野をはじめ、殺菌・滅菌などの環境分野など多岐にわたり、その目的物に応じて最適なランプ管やモジュールを選択する。
東芝ランプ供給可能範囲

紫外線ランプの使用領域

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1.キセノンEUPLAMP

キセノンEUVLAMPは172 nmを放射する真空紫外線ランプである。172 nm及び大気中で発生するオゾンを用いて、半導体ウエハ又は液晶ガラス基板の表面光洗浄に用いられる。また、樹脂やゴム材料の表面改質にも使用されている。 発光長276 mm、580 mm、1130 mm、1530 mmなどが提供できる。

用途
1.FPD（LCDやPDPなど）のVUV/O₃洗浄（有機物除去）、
2.半導体のVUV/O₃洗浄（有機物除去）及び表面改質
3.各種光化学実験用ガラスフィルムの接着、
4.表面改質、
5.フォトレジスト材料残渣処理、
6.除電など。
コンポーネントの適用

カスタム設計42ランプ用洗浄装置	2ランプ、4ランプ用標準ユニット

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2.低圧紫外線殺菌ランプ

高出力低圧紫外線ランプは管式で、ランプアーク長が長く、エネルギー放射波長185 nmと254 nmの紫外線ランプである。 光洗浄、光処理などの強力な紫外線を用途とする最適な光源が必要であり、次に上下水道の浄化、殺菌などの広範囲の用途で使用されている。

用途
1.FPD（LCDやPDPなど）のVUV/O₃洗浄（有機物除去）、
2.空気、水体の殺菌消毒。
コンポーネントの適用

浄水・殺菌装置	MPD用光洗浄装置

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3.低圧紫外線蛍光ランプ

低圧紫外線蛍光ランプ（UV−FL）は、波長300 ~ 400 nmの紫外線を放射する。 特徴：1、照射波長が選択できる、2、一般用蛍光灯管の照明器具は使用できる、3、要求に応じて、ランプ管の管長を選択することができる。

用途
1.液晶パネルの光配向膜製造工程用、
2.フィルムの表面処理用。
コンポーネントの適用

228ランプ露光装置

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4.高圧水銀ランプ・メタルハライドランプ

高圧UVランプは長弧の高圧と短弧の超高圧を分け、 ロングアークシリーズは254 nmと365 nmを放射する高圧UVLAMP（1 ~ 3気圧）、 水銀蒸気中でアーク放電を行うのは高圧水銀ランプであり、 金属化合物を封入し、長波長領域において広範囲に発光するのがメタルハライドランプ、 寿命保証：1000 Hr維持率70%以上（ランプの冷却条件により変動）
こうあつすいぎんとう		メタルハライドランプ
発光長（mm）	100-1850	発光長（mm）	100-1850
管径（mm）	Φ23、Φ25、Φ27.5	管径（mm）	Φ23、Φ25、Φ27.5
ランプ電圧（V）	100-2900	ランプ電圧（V）	100-2900
ランプ電流（A）	5-15	ランプ電流（A）	5-28
ランプ出力（W）	1K-33.6K	ランプ出力（W）	1K-36K
中心波長（nm）	254、365	中心波長（nm）	365

封印金属の変更により、最適波長を選択することができ、さまざまな用途に対応することができます。

用途
1.紫外線硬化、乾燥用、
2.ODF硬化用、
3.PSA装置搭載ランプ、
4.印刷、充填装置用。
コンポーネントの適用

UV印刷硬化装置	FPD製造装置	有機EL製造装置

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5.超高圧水銀ランプ

超高圧UVランプはショートアークタイプ、 365 nm（i線）、405 nm（h線）、436 nm（g線）を放射するランプ、 ランプ出力：250 W、750 W、1000 Wなど

用途

1.半導体製造の露光装置又は液晶の周辺露光用、
2.DVD、B−Ray等の接着、接続用、
3.精密部品、ウエハ等の接続。
コンポーネントの適用

ろしゅつそうち

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東芝ランプカスタムメリット

1.豊富な実績	2.高品質	3.Module対応	4.Custom対応	5.Cost対応
中国大陸、日本、韓国、中国台湾には東芝の各種UVLampを長く使用しているメーカーがあり、豊富な市場実績を持っている	東芝が長年培ってきた光学技術と製造ノウハウ、日本製の高品質UVLampを提供できる	光学、放熱、機械、電源などの各種設計技術を用いた装置を提供することができ、さまざまな光源Line Upを備え、さまざまなソリューションを提供	貴社の使用状況に合わせた調整対応ができ、問題があれば私たちに連絡して解決することができます	部品・製造方法の最適化、自動化設備の導入、用途に合った仕様の提案を推進し、ランニングコストの低減に資する